Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural, electrical and optoelectronic properties / by Lars Rebohle, Wolfgang Skorupa

• 作者： Rebohle, Lars.
• 其他作者：
  • Skorupa, Wolfgang.
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• 其他題名：
  • Springer eBooks
  • Microstructural, electrical and optoelectronic properties
• 出版： Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2010
• 叢書名： Springer series in materials science ,142
• 主題： Metal oxide semiconductors , Materials science. , Optical and Electronic Materials.
• ISBN： 9783642144479 (electronic bk.) 、 9783642144462 (paper)
• URL： 電子書
  
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• 系統號： 005177510 | 機讀編目格式